工业制氧方面，对于中小规划的制氧需求，也有运用变压吸附制氧的，包括PSA制氧及VPSA制氧工艺，作业原则是利用高效的氮氧别离吸附剂吸附氮气，吸附必定时刻进行解吸再生，周期性操作，两塔或者更多吸附塔并联，达到接连产氧的目的。

　　工业制氧机别离空气主要由两个填满分子筛的吸附塔组成，在常温条件下，将压缩空气经过过滤，除水干燥等净化处理后进入吸附塔，在吸附塔中空气中的氮气等被分子筛所吸附，而使氧气在气相中得到富集。

　　从出口流出贮存在氧气缓冲罐中，而在另一塔已完结吸附的分子筛被敏捷降压，解析出已吸附的成分，两塔替换循环，即可得到纯度为≥90%的低价的氧气。整个体系的阀门自动切换均由一台电脑自动控制。

　　工业制氧机体系流程：压缩空气净化组件空气压缩机提供的压缩空气首先通入压缩空气净化组件中，压缩空气先由管道过滤器除掉大部分的油、水、尘，再经冷冻干燥机进一步除水、精过滤器除油、除尘，并由在紧随其后的超精过滤器进行深度净化。