工业制氧方面，关于中小规模的制氧需求，也有运用变压吸附制氧的，包括PSA制氧及VPSA制氧工艺，工作原则是利用高效的氮氧别离吸附剂吸附氮气，吸附必定时刻进行解吸再生，周期性操作，两塔或许更多吸附塔并联，到达接连产氧的目的。

　　工业制氧机别离空气主要由两个填满分子筛的吸附塔组成，在常温条件下，将紧缩空气经过过滤，除水枯燥等净化处理后进入吸附塔，在吸附塔中空气中的氮气等被分子筛所吸附，而使氧气在气相中得到富集。

　　从出口流出贮存在氧气缓冲罐中，而在另一塔已完成吸附的分子筛被敏捷降压，解析出已吸附的成分，两塔交替循环，即可得到纯度为≥90%的低价的氧气。整个体系的阀门自动切换均由一台电脑自动控制。

　　工业制氧机体系流程：空气紧缩机供给的紧缩空气首要通入紧缩空气净化组件中，紧缩空气先由管道过滤器除掉大部分的油、水、尘，再经冷冻枯燥机进一步除水、精过滤器除油、除尘，并由在紧随其后的超精过滤器进行深度净化。